音圈电机驱动偏摆镜BSM采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴(θx,0y)旋转运动实现高精密指向与调姿，输出扭矩大，控制精度高，适用于超远程大口径光束的快速指向、扫描及跟踪。

JKZC-CDM-0x系列微位移传感器主机专为紧凑型应用设计，内置前置放大器、滤波器和信号调理电路，并针对适配探头进行驱动优化，适合于集成型应用。 以多通道控制器为核心的电容式微位移传感器用于对指标有着求的超精密测量应用。内置不同的工作模式来分别适应以静态指标为主的计量型测量和以动态指标为主的实时应用，以及兼顾动态和静态指标的高带宽超精密反馈控制系统应用。多通道控制器内置通道同步功能，支持最多6

JKZC系列绝对式纳米光栅尺传感器基于阿米精控自主知识产权量测系统设计，可实现非接触测量，保证了测量分辨率，满足各种应用场景下纳米级的测量需求。

精密运动位移台基于步进电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有高精度、高速、高动态位移定位和扫描功能。

任何位移台都有6个自由度:3个分别沿着x、y、z轴方向的平移自由度，另外3个则是围绕x、yz轴的旋转自由度(如图1)。

专为芯片-品圆键合(Dle-to-Wafer,D2W)应用场景而设计，具备高精度、高动态呐应、且可集成于多种封装设备的纳米级运动控制系统。