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精密运动位移台基于步进电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有高精度、高速、高动态位移定位和扫描功能。
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精密运动位移台
精密运动位移台
精密运动位移台基于步进电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有高精度、高速、高动态位移定位和扫描功能。
1、典型应用
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
2、技术特点
步进电机驱动精密设计
嵌入式纳米位移传感器系统
超高指向精度、高动态、低噪声
无摩擦、零间隙、免装配
多运动模式:定位/扫描
超长行程
3、规格参数
JKZC-SM-25 | JKZC-SM-50 | JKZC-SM-100 | JKZC-SM-300 | JKZC-SM-500 | 单位 | |
运动轴 | X | |||||
驱动类型 | 步进电机 | |||||
X闭环行程 | 25 | 50 | 100 | 300 | 500 | mm |
竖直最大负载 | 5-25 | kg | ||||
分辨率 | 1.22/12.5 | nm | ||||
最小步长 | ±100 | nm | ||||
重复定位精度 | ±500 | nm | ||||
传感器类型 | 光栅编码器 | |||||
工作温度 | 10-50 | ℃ | ||||
材料 | 铝合金/钛合金 | |||||
电气接口 | D-sub9(可定制) | |||||
线缆长度 | 2 | m | ||||
真空(可选) | 超真空兼容(5x109) | mbar | ||||
4、适配控制器
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