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高精度晶圆对位平台采用音圈电机直接驱动的并联机械结构设计,具有速度快、刚度高、承载能力强等优点。满足工业产线上高精度、高频率的对位、绑定、贴合、组装等应用需求。
更新时间:2026-05-18
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JKZC-TM系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
更新时间:2026-05-18
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JKZC-IM系列高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
更新时间:2026-05-18
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JKZC系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
更新时间:2026-05-18
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二维高速压电偏摆镜 采用差分驱动与差分传感设计,通过负载平面的两轴(θx,θy)旋转运动实现高精密指向与调姿,输出扭矩大,响应速度快,控制精度高。
更新时间:2026-05-18
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电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。可实现非接触测量,保证了的测量分辨率、线性度以及高测量带宽,满足各种应用场景下纳米级的测量需求。
更新时间:2026-05-18
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