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发布时间:2025/11/24
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JK-VRP300高温真空热压机
JK-VRP300是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理样品尺寸为 300mm*300mm*70mm。仪器工作温度为500℃,在此温度下可对样品施加的压力为30T。

基本参数 | 电源:AC220V , 50Hz ,总功率:约 4.5KW 两块 300mm *300mm 加热平台,采用耐热模具钢制成,可承受温度为 500℃ 加热管布置在上下加热平台的内部,以达到快速加热的效果 两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置 18 段升降温程序 |
上下加热平台和真空腔体 | 上下加热平台都安装在真空腔体内,上下加热平台尺寸:300*300mm 上下加热板平面度<0.02mm(在有效面积 300mm*300mm 范围内) 真空腔体采用 304 不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形), 真空度可以达到 10 -1Pa。 可放入样品尺寸:300mm*300mm*70mm 一个数显真空计 腔体设有一个φ6.35 的卡套接头作为进气口使用,并通过一个电磁阀控制进气 的通断 腔体侧面有一个φ8mm 宝塔气嘴的出气口,通过一个电磁阀控制出气的通断 腔体侧面有一个 KF25 的抽真空接口,方便客户匹配各种型号的真空系统 |
温控系统 |
两个精密的温控系统可设置 18 段升降温程序,控温精度为±1℃,500 度恒温 时的温度波动±5℃,分别独立控制两个加热平台。
温控系统采用 PID 方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护。 工作温度为:500℃(<30min) |
压力控制系统 | 压力:30T 加压方式:电动加压 压力精度:0.01 吨 油缸直径为 Φ80 mm; 油缸行程为 0-70 mm; |
真空泵 | 抽气速率:8(2.2)m³/h(L/S) 极限压力:气镇关 5*10 -2Pa 气镇开 10Pa 功率:0.37kw 所需油量:0.6~1.0L 进出气口:KF25 |
外形尺寸 | 580*680*120mm |
重量 | 约 580Kg |
质保 | 一年质保期,终生维护 特别提示:耗材部分如加热元件、石英窗口等不包含在内因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |

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