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产品简介
JKZC-IM系列高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
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高精度JKZC-IM系列
JKZC-IM系列高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
1、典型应用
半导体封测
主动光学
生物技术
视觉装配
显微操纵
光纤校准
2、技术特点
亚纳米级定位稳定性
纳米级闭环运动分辨力
无摩擦柔性铰链导向
大负载
空间多自由度
各级真空兼容性
3、2D尺寸图
4、规格参数
支持非标定制 | JKZC-IM-86 | 单位 |
运动轴 | X,Y,Z,θX,θY,θZ | |
传感器类型 | 光栅传感器 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
X/Y/Z闭环行程 | 10/10/6 | mm |
θX/θY/θZ闭环行程 | ±3/±3/±2 | * |
Z向最小位移增量 | 5 | nm |
θX,θY最小位移增量 | 15,15 | °μ |
Z向最大速度 | 4 | mm/s |
θX,θY最大速度 | 1.5 | °/s |
负载能力 | 3 | N |
材料 | 铝合金 | |
自重 | 1.12 | kg |
工作温度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ175x86.58 | mm |
5、适配控制器
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