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产品简介
JKZC系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
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高精度Hexapods
JKZC系列 高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
1、典型应用
半导体封测
主动光学
生物技术
视觉装配
显微操纵
光纤校准
2、技术特点
亚纳米级定位稳定性
纳米级闭环运动分辨力
无摩擦柔性铰链导向
大负载
空间多自由度
各级真空兼容性
3、2D尺寸图
4、规格参数
支持非标定制 | JKZC-TM-130 | 单位 |
运动轴 | X,Y,Z,θx/θY/θz | |
传感器类型 | 绝对式圆光栅 | |
驱动类型 | 无刷直流电机 | |
X/Y/Z闭环行程 | ±24/±24/±10 | mm |
θx/θY/θz闭环行程 | ±13/±13/±30 | ° |
X/Y/Z方向上的最小位移 | 0.1 | μm |
θX/θY/θZ方向上的最小位移 | 0.5 | arcsec |
X/Y/Z单向重复定位精度 | ±0.25 | μm |
θX/θY/θZ单向重复定位精度 | ±0.3 | arcsec |
X/Y/Z向的最大速度 | 5 | mm/s |
θX/θY/θZ向的最大速度 | 14.3 | deg/s |
水平方向承载能力 | 10 | kg |
任意方向承载能力 | 1.5 | kg |
材料 | 铝合金/不锈钢 | |
工作温度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ155x130 | mm |
5、适配控制器
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