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JKZC-ST-6CD六轴纳米扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
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JKZC-ST-6CD六轴纳米扫描台
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JKZC-ST-6CD六轴纳米扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
扫描显微镜
生物技术
显微成像/操纵
干涉测量
超分辨率显微镜
掩模/晶圆定位
计量
2、技术特点
亚纳米级分辨率
超高定位精度
无摩擦柔性铰链导向
超高真空兼容性
高速、高动态
多运动模式:定位/扫描
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-ST-6CD | 单位 | |
运动轴 | X,Y,Zθx,θY，θZ | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
XY/Z向上的闭环行程 | 200/200/200 | μm |
θx/θv/θZ向上的闭环行程 | 土0.5/土0.5/土0.5 | mrad |
X/Y/Z向上的闭环分辨率 | 1/1/1 | nm |
θx/θY/θZ向上的闭环分辨率 | 0.1/0.1/0.1 | μrad |
X/Y/Z向上的线性差 | 0.01 | % |
θx/θV/θZ向上的线性差 | 0.1 | % |
X/Y/Z向上的重复定位精度 | 5/5/5 | nm |
θx/θY/θZ向上的重复定位精度 | 士0.1/士0.1/士0.15 | μrad |
平面度 | 15 | nm |
X/Y/Z向上的空载谐报频率 | 110/110/200 | HZ |
最大负载 | 5 | Kg |
传感器类型 | 电容传感器 | |
真空(可选) | 超真空兼容(5x10") | mbar |
*真空版型号:JKZC-ST-6CD-HV
5、适配控制器
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