在微流控领域，常用的芯片材质有PDMS、玻璃、PMMA、PC、COC、COP塑料等。每种材质均有不同的性能特点及优势，其中PDMS和玻璃材质均可以通过MEMS工艺加工几微米线宽及以上尺寸的结构且成本较低。而塑料材质，若是采用数控CNC加工，一般设备只能加工线宽100um以上的结构，若是想要加工100um以内的结构，需要开模注塑，其成本较高，尤其对于芯片结构没有定型的客户