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JKZC-OL-Z物镜压电纳米平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
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JKZC-OL-Z物镜压电纳米平台
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JKZC-OL-Z物镜压电纳米平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
超分辨率显微微调
振动台
显微成像/操纵
压电微位移
3D成像
干涉测量
生物技术
半导体测试
2、技术特点：
亚纳米级分辨率
超高定位精度
无摩擦柔性较链导向
超高真空兼容性
高速、高动态
多运动模式：定位/扫描
3、规格参数
JKZC-OL-Z-100 | JKZC-OL-Z-200 | 单位 | |
运动触数 | 1 | ||
驱动类型 | 压电陶瓷 | ||
闭环行程 | 100 | 200 | μm |
闭环分辨率 | 1 | nm | |
最小步长 | 2 | nm | |
无负载谐振频率 | 560 | 750 | Hz |
最大负载 | 200 | g | |
传感器类型 | 电容传感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 69.7x46x41 | 71.5x55x41 | mm |
白重 | 90 | 258 | g |
电气接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽线缆长度 | 2 | m | |
材料 | 铝合金 | ||
真空(可选) | 超真空兼容(5x10") | mbar | |
真空版型号:NP-OL-Z-HV
适配控制器
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