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产品简介
空气制冷卡盘系统，使用加压空气对卡盘进行主动冷却。由于它在卡盘内不使用帕尔贴元件或液氮等流体，因此它已成为业内不折不扣的可靠性和高温稳定性的代名词。因其安静的纯空气运行和高绝缘性而被证明特别适用于低噪音测试。其优雅的结构使其成为高温测试以及高平面和高压应用开发的理想选择。
产品简介：
空气制冷卡盘系统，使用加压空气对卡盘进行主动冷却。由于它在卡盘内不使用帕尔贴元件或液氮等流体，因此它已成为业内不折不扣的可靠性和高温稳定性的代名词。因其安静的纯空气运行和高绝缘性而被证明特别适用于低噪音测试。其优雅的结构使其成为高温测试以及高平面和高压应用开发的理想选择。
可选尺寸规格：6英寸（150mm直径）8英寸（200mm直径）12英寸（300mm直径）
功能特点：
JKZC-ISC系列配备了稳定的气体冷却和相应的冷却机，提供了一个非常广泛的测试温度范围。
仅使用空气冷却--无液体或帕尔贴元件
温度范围为-60°C到300°C
可选三同轴接口，以实现pA测试
冷却剂占地面积小，节省空间无需额外的吹气装置
结构紧凑，可集成各大主流生产型或是分析型探针台兼容
可集成全套的软硬件于一体
可编程控温，涵盖不同温度段（具体由选择型号而定）
通过触摸屏或软件编程，实现多段温度曲线设定、自动保存数据
卡盘盘面材质可按需求提供
可提供软件SDK开发包
温控卡盘种类（可多选）或按您的需求定制
温控参数：
可用的温度上限 | +150℃至 +300℃ |
可用的温度下限 | -60 （200 mm），-55℃ （300 mm） |
卡盘温度显示分辨率 | 0.001℃ |
下限温度选择步骤 | 0.1℃ |
温度精度 | ±0.1 ℃ |
冷却剂 | 空气（用户提供） |
卡盘顶部和 GND 之间的最大电压 | 500 V DC（可提供高达 10 kV 的高压选项） |
传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源） |
卡盘表面电镀 | 镍（提供金或非导电） |
300 mm系统的冷却速率 | +150℃至+25℃:25 分钟 +200°C至 +25°C: 30 分钟 +300°C至 +25°C: 40 分钟 +25°C至 -20°C: 15 分钟 +25°C至 -40°C: 35 分钟 +25°C至-55°C:65 分钟 |
300 mm系统的加热速率 | -55°C至 +25°C: 12 分钟 -40°C至 +25°C: 10 分钟 +25°C至 +150°C:20 分钟 +25°C至+200°C:28分钟 +25°C至+300°C:40 分钟
|
温度均匀性 | -55 °C 至 +200 °C < ±0.5 °C > 200 °C < ±0.5 % |
台面平面度 | 55 °C 至 +300 °C < ±12μm（可根据用户要求定制更紧密的范围） |
软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
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