产品简介

JKZC-DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD

产品概要

JKZC-DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。

|技术特点

•显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量的光学成像；

•卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡；

•可升级性强，可升级卡盘360度快速移动，可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。

详细参数

搭配产品/半导体参数分析仪

我们经过近10年的发展,在测试仪器与探针台的搭配方面具备十分 丰富的经验。半导体参数分析仪方面，我们和是德科技(Keysight)、 泰克(Tektronix)、概伦电子(PRIMARIUS)等公司的半导体参数 分析仪有过多次搭配经验，系列型号有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并为用户提供半导体参数分析 仪与探针台集成测试方案和服务。

搭配产品/矢量网络分析仪

依靠与仪器设备厂商和设备集成经销商所保持良好的合作关系，我司 可为用户提供是德科技(Keysight)、中电思仪(Ceyear)等公司的 网络分析仪和模块，有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型号的矢量网络 分析仪和毫米波网络分析仪，涵盖不同测量频率范围、性能和功能，并 为用户提供网络分析仪与探针台集成测试方案和服务,具备丰富的测 试经验。

搭配产品/其他类型源表

在其它类型源表方面，比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普赛斯 S300,铁电分析仪，各类示波器，各类电源，频谱仪等等都有多年的搭 配经验。