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音圈电机驱动三自由度晶圆调节台，属于三轴并联运动机构。通过三个线性移动轴的并联运动实现Z轴线性运动和θxθy轴旋转运动。可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。
更新时间：2026-05-18
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浏览量：91
六自由度调台可实现多自由度运动，动态范围大，重载稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
更新时间：2026-05-18产品型号：浏览量：114
Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫搭功能。
更新时间：2026-05-18产品型号：浏览量：93
Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫搭功能。
更新时间：2026-05-18产品型号：浏览量：124
JKZC-ST-XY二维纳米定位/扫描平台基于做纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
更新时间：2026-05-18产品型号：浏览量：115
JKZC-ST-XYZ-100三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米何服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
更新时间：2026-05-18产品型号：浏览量：108
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